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徐 州 恒 霄 电 子 科 技 有 限 公 司 官 网 恒 霄 电 子 科 技 H E N G X I A O E L E C T R O M I C E T E C H N O L O G Y 首 页 关 于 我 们 产 品 中 心 技 术 资 料 新 闻 动 态 联 系 我 们 7 * 2 4 小 时 服 务 热 线 1 8 5 5 2 1 8 9 1 6 0 H X Z K 5 0 0 高 真 空 多 靶 磁 控 溅 射 镀 膜 机 可 制 备 单 层 及 多 层 金 属 膜 、 介 质 膜 、 半 导 体 膜 、 耐 热 合 金 膜 、 硬 质 膜 、 耐 腐 蚀 膜 、 透 明 导 电 膜 如 钙 钛 矿 空 穴 传 输 层 、 金 属 电 极 以 及 透 明 导 电 层 I T O 膜 层 的 制 备 等 。 了 解 更 多 关 于 我 们 徐 州 恒 霄 电 子 科 技 有 限 公 司 — 徐 州 恒 霄 电 子 科 技 有 限 公 司 成 立 于 2 0 2 2 年 ， 专 业 从 事 半 导 体 装 备 系 统 的 研 发 、 制 造 、 销 售 和 服 务 ， 主 要 产 品 为 氧 化 炉 、 扩 散 炉 、 退 火 炉 、 钝 化 炉 、 合 金 炉 、 立 / 卧 式 L P C V D 炉 、 磁 控 P V D 镀 膜 设 备 、 I B E R I E 离 子 刻 蚀 设 备 等 半 导 体 设 备 ， 主 要 涉 及 集 成 电 路 、 分 立 器 件 、 5 G 通 讯 、 光 电 器 件 、 传 感 器 等 领 域 ， 设 备 广 泛 用 于 科 研 机 构 、 高 校 实 验 室 以 及 微 电 子 器 件 企 业 等 。 专 业 半 导 体 装 备 制 造 ， 售 前 咨 询 ， 专 人 对 接 。 — 专 注 于 半 导 体 、 微 电 子 工 艺 设 备 的 研 发 与 销 售 ， 无 论 您 是 项 目 调 研 的 需 求 ， 或 者 是 采 购 询 价 的 需 求 ， 亦 或 是 技 术 咨 询 的 需 求 ， 我 们 都 会 提 供 专 人 专 业 的 服 务 。 0 年 行 业 经 验 0 m ² 洁 净 装 配 车 间 0 ㎡ 研 发 中 心 0 + 合 作 客 户 0 ＋ 待 申 请 专 利 0 小 时 售 后 团 队 抵 达 现 场 产 品 中 心 — ■ P V D 真 空 镀 膜 设 备 系 列 H S Z K 5 0 0 高 真 空 多 靶 磁 控 溅 射 镀 膜 机 磁 控 溅 射 技 术 属 于 P V D （ 物 理 气 相 沉 积 ） 技 术 的 一 种 ， 是 制 备 薄 膜 材 料 的 重 要 方 法 之 一 ， 可 在 陶 瓷 、 石 英 、 硅 片 、 化 合 物 等 等 基 底 上 溅 射 沉 积 金 属 膜 、 氧 化 膜 以 及 其 他 可 以 被 制 成 靶 材 的 薄 膜 。 适 用 范 围 ： 大 专 院 校 、 科 研 院 所 及 企 业 进 行 薄 膜 新 材 料 的 科 研 及 小 批 量 制 备 。 查 看 详 情 产 品 中 心 — ■ 卧 式 炉 管 设 备 系 列 适 配 各 种 主 流 工 艺 ： 氧 化 / 扩 散 / 退 火 / L P C V D 氧 化 ： 干 氧 、 湿 氧 （ 鼓 泡 器 / 氢 氧 合 成 ） 扩 散 ： 磷 、 硼 扩 散 退 火 ： 气 氛 、 真 空 退 火 、 合 金 退 火 低 压 化 学 气 相 沉 积 ： 多 晶 硅 、 氮 化 硅 、 氧 化 硅 查 看 详 情 产 品 中 心 — ■ P V D 真 空 镀 膜 设 备 系 列 H S Z K 5 0 0 高 真 空 多 靶 磁 控 溅 射 镀 膜 机 磁 控 溅 射 技 术 属 于 P V D （ 物 理 气 相 沉 积 ） 技 术 的 一 种 ， 是 制 备 薄 膜 材 料 的 重 要 方 法 之 一 ， 可 在 陶 瓷 、 石 英 、 硅 片 、 化 合 物 等 等 基 底 上 溅 射 沉 积 金 属 膜 、 氧 化 膜 以 及 其 他 可 以 被 制 成 靶 材 的 薄 膜 。 适 用 范 围 ： 大 专 院 校 、 科 研 院 所 及 企 业 进 行 薄 膜 新 材 料 的 科 研 及 小 批 量 制 备 。 查 看 详 情 产 品 中 心 — ■ 卧 式 炉 管 设 备 系 列 适 配 各 种 主 流 工 艺 ： 氧 化 / 扩 散 / 退 火 / L P C V D 氧 化 ： 干 氧 、 湿 氧 （ 鼓 泡 器 / 氢 氧 合 成 ） 扩 散 ： 磷 、 硼 扩 散 退 火 ： 气 氛 、 真 空 退 火 、 合 金 退 火 低 压 化 学 气 相 沉 积 ： 多 晶 硅 、 氮 化 硅 、 氧 化 硅 查 看 详 情 行 业 解 决 方 案 — 5 G 通 讯 分 立 器 件 V C S E L 垂 直 腔 面 发 生 器 5 G 通 讯 L P C V D （ 低 压 化 学 气 相 沉 积 ） 设 备 在 5 G 通 讯 领 域 发 挥 着 关 键 作 用 ， 其 应 用 主 要 围 绕 5 G 芯 片 制 造 、 射 频 器 件 优 化 及 新 型 材 料 沉 积 等 方 面 了 解 更 多 I G B T 等 分 立 器 件 I G B T （ 绝 缘 栅 双 极 型 晶 体 管 ） 的 制 造 涉 及 半 导 体 工 艺 中 的 薄 膜 沉 积 、 光 刻 、 刻 蚀 、 掺 杂 、 封 装 等 多 个 环 节 ， 需 使 用 多 种 专 业 设 备 。 了 解 更 多 V C S E L 与 智 能 驾 驶 通 过 侧 氧 工 艺 形 成 的 氧 化 物 限 制 窗 口 对 于 V C S E L 的 性 能 至 关 重 要 ， 准 确 控 制 侧 氧 工 艺 参 数 ， 如 氧 化 温 度 、 时 间 、 水 蒸 气 流 量 等 ， 对 于 实 现 V C S E L 器 件 的 高 性 能 和 一 致 性 具 有 关 键 作 用 。 了 解 更 多 新 闻 动 态 — I G B T （ 绝 缘 栅 双 极 型 晶 体 管 ） 的 制 造 涉 及 半 导 体 工 艺 中 的 哪 些 设 备 ？ L P C V D 工 艺 中 的 污 染 控 制 L P C V D 工 艺 中 最 值 得 注 意 的 工 艺 点 剖 析 L P C V D 设 备 的 工 艺 解 析 V C S E L 在 汽 车 智 能 驾 驶 领 域 的 作 用 L P C V D 设 备 ： 从 多 晶 硅 薄 膜 到 氮 化 硅 层 ， 探 寻 低 压 沉 积 的 规 模 化 生 产 奥 秘 L P C V D 设 备 详 解 2 0 2 5 0 6 1 1 一 、 L P C V D 技 术 原 理 与 基 础 机 制 L P C V D 技 术 是 在 低 于 大 气 压 （ 通 常 在 1 0 1 0 0 0 P a 范 围 ） 的 环 境 下 ， 利 用 气 态 反 应 物 在 加 热 基 片 表 面 进 行 化 学 反 应 ， 从 而 沉 积 出 固 态 薄 膜 的 工 艺 。 其 核 心 原 理 包 含 以 下 关 键 步 骤 ： 气 体 输 运 ： 将 反 应 气 体 ， 如 硅 烷 （ S i H ₄ ） 、 氨 气 （ N H ₃ ） 、 一 氧 化 二 氮 （ N ₂ O ） 等 ， 精 准 地 引 入 反 应 腔 室 ， 为 后 续 的 反 应 提 供 物 质 基 础 。 表 面 吸 附 ： 在 加 热 至 4 0 0 8 0 0 ℃ 的 基 片 表 面 ， 气 体 . . . 新 闻 资 讯 磁 控 溅 射 镀 膜 技 术 和 反 应 溅 射 镀 膜 技 术 的 发 展 趋 势 是 什 么 ？ 2 0 2 5 0 6 1 8 一 、 技 术 原 理 与 工 艺 革 新 1 . 磁 控 溅 射 技 术 的 效 率 与 精 度 突 破 高 功 率 脉 冲 磁 控 溅 射 （ H i P I M S ） ： 通 过 高 离 化 率 等 离 子 体 实 现 薄 膜 高 致 密 性 和 低 缺 陷 率 ， 在 硬 质 涂 层 领 域 的 渗 透 率 预 计 2 0 2 5 年 达 4 0 % 1 5 。 例 如 ， 韩 国 K A I S T 研 究 所 开 发 的 低 温 磁 控 溅 射 工 艺 ， 在 P E T 基 底 上 沉 积 的 I T O 薄 膜 方 阻 降 至 8 Ω / □ ， 透 光 率 超 9 2 % ， 弯 曲 5 0 0 0 次 后 电 阻 变 化 小 于 2 % ， 为 柔 性 显 示 提 供 关 键 支 持 8 。 智 . . . 新 闻 资 讯 L P C V D 设 备 的 核 心 优 势 2 0 2 5 0 6 1 1 L P C V D 设 备 的 核 心 优 势 卓 越 的 均 匀 性 与 一 致 性 ： 在 低 压 环 境 下 ， 气 体 扩 散 过 程 占 主 导 地 位 ， 使 得 L P C V D 设 备 能 够 实 现 膜 厚 均 匀 性 达 到 ± 1 % 的 高 精 度 水 平 。 这 种 出 色 的 均 匀 性 对 于 8 1 2 英 寸 晶 圆 的 批 量 生 产 尤 为 重 要 ， 可 保 证 同 一 批 次 晶 圆 上 所 有 芯 片 的 性 能 一 致 性 。 出 色 的 台 阶 覆 盖 性 ： L P C V D 技 术 能 够 在 具 有 高 深 宽 比 结 构 （ 如 T S V ） 的 表 面 实 现 保 形 沉 积 ， 即 薄 膜 能 够 均 匀 地 覆 盖 在 复 杂 结 构 的 各 个 表 面 ， 这 . . . 新 闻 资 讯 1 8 5 5 2 1 8 9 1 6 0 1 5 8 1 5 5 6 8 6 5 @ q q . c o m 尊 敬 的 合 作 伙 伴 ， 您 可 以 随 时 联 系 我 们 联 系 我 们 关 于 我 们 产 品 中 心 技 术 资 料 新 闻 动 态 联 系 我 们 徐 州 恒 霄 电 子 科 技 有 限 公 司 I N J E C T I O N M O L D I N G M A C H I N E 办 公 地 址 ： 江 苏 省 徐 州 市 贾 汪 区 生 产 地 址 ： 江 苏 省 徐 州 市 徐 州 工 业 区 电 话 ： 1 8 5 5 2 1 8 9 1 6 0 热 线 电 话 ： 1 8 5 5 2 1 8 9 1 6 0 联 系 邮 箱 ： 1 5 8 1 5 5 6 8 6 5 @ q q . c o m 工 作 时 间 ： 周 一 到 周 五 0 9 : 0 0 1 8 : 0 0 扫 码 添 加 微 信 © 2 0 2 5 徐 州 恒 霄 电 子 科 技 有 限 公 司 版 权 所 有 凡 科 建 站 提 供 技 术 支 持 管 理 登 录 苏 I C P 备 2 0 2 5 1 8 8 5 2 3 号 1 电 话 咨 询 ： 0 2 0 0 0 0 0 0 0 Q Q 咨 询 ： 1 7 7 4 8 8 2 2 8 微 信 客 服 扫 码 咨 询

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