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半导体工艺设备、 晶体设备、

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山东力冠微电子装备有限公司-半导体装备制造主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与专业化的技术服务。

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山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 半 导 体 装 备 制 造 l i g u a n 1 2 1 8 @ 1 6 3 . c o m 1 5 5 6 2 4 5 0 8 1 6 中 文   |   E n g l i s h 网 站 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 专 利 证 书 产 品 展 示 半 导 体 工 艺 设 备 化 合 物 半 导 体 设 备 新 闻 资 讯 公 司 新 闻 行 业 资 讯 招 贤 纳 士 管 理 理 念 加 入 力 冠 联 系 我 们 E n g l i s h Q u o t e N o w 产 品 展 示 主 要 从 事 半 导 体 专 用 设 备 的 研 发 、 生 产 、 销 售 与 专 业 化 的 技 术 服 务 。 了 解 详 情 L P C V D 立 式 炉 半 导 体 集 成 电 路 制 造 的 重 要 设 备 之 一 ， 主 要 用 于 P O L Y , D P O L Y , S i N , L P T E O S ； 立 式 L P C V D 采 用 钟 罩 式 结 构 ， 设 计 嵌 套 腔 体 机 械 手 传 片 组 件 、 舟 旋 转 组 件 ， 具 有 占 地 面 积 小 、 成 膜 均 匀 性 高 、 工 艺 稳 定 性 高 等 优 点 。 L P C V D 卧 式 炉 L P C V D 设 备 是 半 导 体 集 成 电 路 制 造 的 重 要 设 备 之 一 ， 主 要 用 于 P O L Y , D P O L Y , S i N , L P T E O S 。 S i C 高 温 退 火 炉 专 门 用 于 碳 化 硅 （ S i C ） 氮 化 镓 （ G a N ） 器 件 的 离 子 注 入 后 退 火 工 艺 ， 采 用 特 殊 的 无 金 属 加 热 设 计 使 加 工 温 度 提 高 到 2 0 0 0 ℃ 。 适 用 工 艺 ： S i C 和 G a N 晶 圆 的 退 火 S i C 高 温 氧 化 炉 专 用 于 S i C 晶 圆 的 高 温 氧 化 工 艺 ， 可 实 现 晶 圆 片 高 温 真 空 环 境 下 完 成 氧 化 工 艺 。 可 使 用 O 2 , N 2 O ， N O ， N O 2 或 湿 法 氧 化 ， 采 用 无 金 属 加 热 和 真 空 装 备 。 适 用 工 艺 ： 氧 化 卧 式 炉 该 设 备 是 半 导 体 生 产 线 前 工 序 的 重 要 工 艺 设 备 之 一 ， 用 于 大 规 模 集 成 电 路 、 分 立 器 件 、 电 力 电 子 、 光 电 器 件 等 行 业 的 氧 化 、 扩 散 、 退 火 、 合 金 等 工 艺 。 氧 化 工 艺 ： 主 要 用 于 初 始 氧 化 层 、 栅 氧 化 层 、 场 氧 化 层 等 多 种 氧 化 介 质 层 的 制 备 工 艺 。 立 式 炉 该 设 备 是 半 导 体 生 产 线 前 工 序 的 重 要 工 艺 设 备 之 一 ， 用 于 大 规 模 集 成 电 路 、 分 立 器 件 、 电 力 电 子 、 光 电 器 件 等 行 业 的 磷 / 硼 扩 散 、 氧 化 、 退 火 、 合 金 和 烧 结 等 工 艺 ； 主 要 用 于 初 始 氧 化 层 、 栅 氧 化 层 、 场 氧 化 层 等 多 种 氧 化 介 质 层 的 制 备 工 艺 。 M P C V D 长 晶 炉 本 设 备 主 要 是 用 于 制 备 单 晶 金 刚 石 。 可 激 发 高 稳 定 度 的 等 离 子 团 ， 从 而 确 保 单 晶 生 长 的 持 续 性 ， 为 合 成 大 尺 寸 单 晶 金 刚 石 提 供 有 力 保 证 。 垂 直 布 里 奇 曼 法 （ V B ） 炉 （ 非 铱 技 术 ） 本 设 备 主 要 用 于 氧 化 镓 （ G a 2 O 3 ） 单 晶 生 长 （ 无 铱 法 ） ， 将 原 料 放 在 垂 直 的 坩 埚 内 ， 然 后 从 坩 埚 尖 端 开 始 通 过 预 设 好 的 温 度 梯 度 区 作 定 向 凝 固 。 通 过 缓 慢 降 温 而 生 长 出 单 晶 。 H V P E 外 延 炉 — — 卧 式 本 设 备 主 要 用 于 氧 化 镓 （ G a 2 O 3 ） 、 氮 化 铝 （ A I N ） 等 外 延 生 长 。 H V P E 外 延 炉 — — 立 式 本 设 备 主 要 用 于 氧 化 镓 （ G a 2 O 3 ） 、 氮 化 铝 （ A I N ） 等 外 延 生 长 。 坩 埚 下 降 炉 本 设 备 主 要 用 于 砷 化 镓 （ G a A s ） 、 磷 化 铟 （ I n P ） 等 化 合 物 晶 体 生 长 。 设 备 由 机 架 、 安 瓿 支 撑 机 构 、 加 热 器 和 控 制 系 统 组 成 ， 能 够 实 现 安 瓿 移 动 和 转 动 的 精 确 控 制 。 导 模 法 长 晶 炉 本 设 备 主 要 用 于 氧 化 镓 （ G a 2 O 3 ） 单 晶 生 长 ， 将 原 料 放 在 留 有 狭 缝 的 模 具 中 ， 熔 液 借 虹 吸 作 用 上 升 到 模 具 顶 部 ， 受 籽 晶 诱 导 结 晶 生 长 成 单 晶 。 H V P E 长 晶 炉 — — 卧 式 本 设 备 主 要 用 于 氮 化 镓 （ G a N ） 单 晶 生 长 ； H V P E 长 晶 炉 — — 立 式 本 设 备 主 要 用 于 氮 化 镓 （ G a N ） 单 晶 生 长 ； S i C 籽 晶 粘 接 设 备 本 设 备 是 将 S i C 籽 晶 通 过 有 机 胶 粘 接 在 石 墨 上 。 提 高 籽 晶 粘 接 质 量 是 保 证 高 品 质 S i C 晶 体 生 长 的 首 要 前 提 。 P V T 法 长 晶 炉 — — 电 阻 炉 本 设 备 主 要 用 于 碳 化 硅 （ S i C ） 、 氮 化 铝 （ A I N ） 单 晶 生 长 。 P V T 法 长 晶 炉 — — 感 应 炉 本 设 备 主 要 用 于 碳 化 硅 （ S i C ） 、 氮 化 铝 （ A I N ） 单 晶 生 长 。 液 相 法 长 晶 炉 液 相 法 可 以 在 更 低 的 温 度 （ ＜ 2 0 0 0 ℃ ） 以 下 实 现 S i C 单 晶 的 生 长 ， 理 论 上 更 容 易 获 得 高 质 量 的 单 晶 。 利 用 温 度 梯 度 作 为 生 长 驱 动 力 来 实 现 晶 体 的 生 长 。 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 聚 力 成 事 · 名 冠 天 下 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 同 年 6 月 正 式 成 为 中 国 电 子 专 用 设 备 工 业 协 会 会 员 ； 2 0 1 8 年 1 1 月 ， 被 山 东 省 科 技 厅 认 定 为 “ 高 新 技 术 企 业 ” ； 2 0 1 9 年 3 月 被 第 三 代 半 导 体 产 业 技 术 创 新 战 略 联 盟 评 为 副 理 事 长 单 位 ， 同 年 9 月 荣 获 中 国 创 新 创 业 大 赛 · 国 际 第 三 代 半 导 体 专 业 赛 优 胜 奖 ； 2 0 2 2 年 、 2 0 2 3 年 分 别 被 山 东 省 工 信 厅 认 定 为 “ 创 新 型 中 小 企 业 ” 与 “ 专 精 特 新 中 小 企 业 ” 。 2 0 2 4 年 被 评 为 “ 山 东 省 首 台 （ 套 ） 技 术 装 备 及 关 键 核 心 零 部 件 生 产 企 业 “ 、 “ 山 东 省 瞪 羚 企 业 ” 。 作 为 一 家 国 家 高 新 技 术 企 业 ， 公 司 常 年 与 国 内 知 名 半 导 体 企 业 、 科 研 院 校 等 保 持 密 切 合 作 ， 产 品 被 广 泛 应 用 于 集 成 电 路 、 功 率 半 导 体 、 化 合 物 半 导 体 、 5 G 芯 片 、 光 通 信 、 M E M S 等 新 型 电 子 器 件 制 造 领 域 。 经 过 十 年 的 发 展 ， 已 成 为 一 家 集 研 发 、 生 产 、 销 售 为 一 体 的 半 导 体 工 艺 装 备 制 造 商 。 企 业 视 频 服 务 客 户 了 解 详 情 我 们 的 优 势 主 要 从 事 半 导 体 专 用 设 备 的 研 发 、 生 产 、 销 售 与 专 业 化 的 技 术 服 务 。 经 验 丰 富 山 东 力 冠 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 是 一 家 集 研 发 、 生 产 、 销 售 为 一 体 的 专 业 装 备 制 造 企 业 ， 是 中 国 电 子 专 用 设 备 工 业 协 会 会 员 、 第 三 代 半 导 体 产 业 技 术 创 新 战 略 联 盟 副 理 事 长 单 位 。 品 质 保 障 截 至 目 前 已 通 过 授 权 专 利 3 0 个 ， 其 中 ， 发 明 专 利 4 个 ， 实 用 新 型 1 8 个 ， 软 件 著 作 权 8 个 。 实 力 雄 厚 目 前 公 司 拥 有 大 型 加 工 中 心 、 激 光 切 割 机 、 自 动 焊 机 、 V C R 焊 机 、 大 型 车 床 、 铣 床 、 钻 床 、 剪 板 机 、 炉 丝 卷 绕 机 、 打 标 机 等 设 备 私 人 定 制 能 够 尽 可 能 满 足 不 同 客 户 的 高 精 尖 定 制 需 求 ， 确 保 绝 大 多 数 机 械 零 部 件 可 研 发 、 可 自 制 、 可 改 造 。 新 闻 资 讯 为 客 户 提 供 优 质 的 产 品 和 完 善 的 服 务 ， 向 着 国 际 化 ， 现 代 化 企 业 昂 首 阔 步 前 进 。 了 解 详 情 2 0 2 5 / 0 5 / 0 9 槐 荫 区 第 十 九 届 人 大 常 委 会 成 员 莅 临 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 视 察 调 研 2 0 2 5 / 0 4 / 3 0 从 8 英 寸 P V T 设 备 批 量 交 付 到 1 2 英 寸 电 阻 法 长 晶 系 统 商 业 化 落 地 — — 第 三 代 半 导 体 装 备 国 产 化 进 程 提 速 2 0 2 5 / 0 4 / 3 0 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 二 期 项 目 正 式 签 约 ！ 2 0 2 4 1 2 1 1 力 冠 动 态 | 力 冠 亮 相 第 八 届 国 际 碳 材 料 大 会 2 0 2 3 0 7 1 8 2 0 2 3 年 中 国 半 导 体 设 备 发 展 趋 势 预 测 分 析 随 着 半 导 体 技 术 的 不 断 进 步 ， 半 导 体 器 件 集 成 度 不 断 提 高 。 一 方 面 ， 芯 片 工 艺 节 点 不 断 缩 小 ， 且 还 在 向 更 先 进 的 方 向 发 展 ; 另 一 方 面 晶 圆 的 尺 寸 却 不 断 扩 大 。 此 外 ， 半 导 体 器 件 的 结 构 也 趋 于 复 杂 ， 通 过 增 加 立 体 层 数 ， 解 决 平 面 上 难 以 微 缩 的 工 艺 问 题 。 这 些 对 半 导 体 专 用 设 备 的 精 密 度 与 稳 定 性 的 要 求 越 来 越 高 ， 未 来 半 导 体 设 备 将 向 高 精 密 化 与 高 集 成 化 方 向 发 展 。 2 0 2 3 0 7 1 8 日 本 半 导 体 出 口 禁 令 波 及 中 国 国 产 设 备 迎 机 遇 5 月 2 3 日 ， 日 本 政 府 出 台 半 导 体 制 造 设 备 出 口 管 制 措 施 ， 将 芯 片 制 造 设 备 等 2 3 个 品 类 列 入 出 口 管 理 的 管 制 对 象 ， 新 规 将 于 7 月 2 3 日 正 式 生 效 。 在 线 留 言 提 交 产 品 展 示 扩 散 / 氧 化 / 退 火 C V D 设 备 S i C 单 晶 生 长 设 备 G a N 单 晶 生 长 设 备 G a 2 O 3 单 晶 生 长 设 备 金 刚 石 单 晶 生 长 设 备   联 系 我 们 地 址 ： 济 南 市 槐 荫 区 济 南 宽 禁 带 半 导 体 产 业 园 电 话 ： 1 5 5 6 2 4 5 0 8 1 6 邮 箱 ： l i g u a n 1 2 1 8 @ 1 6 3 . c o m C o p y r i g h t © 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 网 站 建 设 ： 中 企 动 力 济 南 二 分     |     标 签   |     营 业 执 照   |   城 市 分 站

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